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射頻真空等離子清洗機

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產品簡介

射頻真空等離子清洗機產品介紹： 1、獨立數顯射頻電源 2、強力去除光刻膠有機污染物 3、腔體內部接近常溫 4、改性 5、媒粉灰化處理 技術參數： 型號 PT-2ST P

詳細介紹

射頻真空等離子清洗機產品介紹：
 
1、獨立數顯射頻電源
2、強力去除光刻膠有機污染物
3、腔體內部接近常溫
4、改性
5、媒粉灰化處理
 
 
 
技術參數：
型號 PT-2ST PT-5ST PT-10ST PT-15ST
腔體材質 316不銹部表面處理  
腔體尺寸 Φ100x270L Φ150x270Lmm 220x260x200mm
L*W*H		 320x260x200mm
腔體容量 2L 5L 10L 15L
外形尺寸 560x540x550mm
L*W*H		 560x540x550mm
L*W*H		 650x550x580mm
L*W*H		 650x550x650mm
L*W*H
電源頻率 13.56MHZ  
電源功率 0-200W(手動匹配) 0-300W(自動匹配) 0-500W(自動匹配)
流量計 高精密2路浮子流量計  
真空計 壓力表(量化值顯示)  
控制過程 全自動控制與手動(PLC人機界面)  
清洗時間 0-99999S可調  
真空度 1-30pa  
腔體溫度 <30℃  
供電電壓 220V
 		  
真空泵 2XZ-2(抽速2L/S) 2XZ-4(抽速4L/S)
 
 


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