近日，天津市計量院長度計量技術研究部新建的“掃描電子顯微鏡校準裝置”社會公用計量標準順利通過市市場監管委考核。標準器配置一維柵格、二維柵格，已建立掃描電子顯微鏡(SEM)校準裝置計量標準，測量范圍為(100～2000)nm；配置的臺階高度樣板，測量范圍為(20nm～20μm)，可提供掃描探針顯微鏡(SPM)、原子力顯微鏡(AFM)、掃描隧道顯微鏡(STM)、臺階儀等儀器的校準服務；配置的6種能譜元素標樣，可提供能譜儀器的測試服務。該項社會公用計量標準的建立對提升天津地區微納米測試領域校準能力具有重要意義，填補了地區微納米測試領域的空白。 
(圖片來源：天津市計量院)
目前，納米科學技術已經成為全球研究的熱點領域之一，無論在基礎前沿研究還是在高新產業應用中均具有重要意義。掃描電子顯微鏡利用聚焦的電子束在樣品表面逐點掃描，電子與樣品作用產生二次電子信號以及背散射電子信號，由此獲得表面形貌圖像，可以達到納米級的分辨力。市計量院配置一維二維柵格標準器、臺階高度樣板等多種計量標準器后，將初步建立并進一步完善本地區的納米幾何特征參量量值溯源體系。
我國在納米技術領域的科學技術研究位居國際前列，納米技術相關產業正處在快速發展上升時期。市計量院長度計量技術研究部主要負責同志表示，將深入學習貫徹黨的二十屆三中全會精神，立足檢測市場需求，持續強化創新力度，不斷推動計量事業實現高質量發展。同時，歡迎全國各方計量同仁來電咨詢，洽談合作事宜。
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